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EFEM:Side Storage

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  • EFEM:Side Storage
  • 产品名称:

    EFEM:Side Storage
  • 型号:

    2Port~4 Port
  • 品牌:

    ROBOSTAR
  • 价格:

    1
  • 最小起订量:

    1

产品摘要:

装载2Port~4 Port LPM / Soft and High Speed Wafer Handling with AC Servo System Control. FOOTPRINT 最优化 / 可使用 FFU 扣押联动 Mode / 构现 Enable smooth top down air flow with enclosure structure OPTION : Pre-ALIGNER, SIDE STORAGE


产品描述

主要特征

 

■ Carrier : 300mm FOUP (SEMI E47.1-1101)

■ Cleanliness : ISO Class1

■ Repeatability : ±0.1mm

■ Electric Supply : 208VAC±10%, 3Phase

■ Acoustic Noise : < 70dB

■ Communication : Ethernet

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