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晶圆寻边器/校准器(Aligner)

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  • 晶圆Aligner(8寸)
  • 校准器(Aligner)

产品摘要:

RPS-1201 排列半导体制造装备或检查装备 Wafer时使用的System / Wafer Notch Check 与 Centering 功能 验出Wafer Chipping的功能 / Vacuum Chuck Type / 对应450mm Wafer 可利用T/P快速检查LPM的状况与设定


产品描述

主要特征

 

■ Wafer   Plain 100mm

■ Sensing CMOS  or Laser (Option)      

■ Centering repeatability  ≤ ±0.1mm      

■ Angle repeatability ≤ ±0.1° 

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