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Nidec-Sankyo三协晶圆搬运用机器人

  • 三协半导体晶片搬运机器人
  • Nidec-Sankyo三协晶圆搬运用机器人

产品摘要:

Nidec-Sankyo三协晶圆搬运用机器人型号: SR8230、SR8220、SR8240、SR8241。


产品描述

 

 

晶圆搬运用机器人:

 

 

 

 

 

 

 

模型 SR8230 SR8220 SR8240 SR8241
晶圆尺寸 200mm and 300mm 200mm and 300mm 200mm and 300mm 200mm and 300mm
宪法 圆柱坐标类型Single Arm 圆柱坐标类型Double Arm 3-link 水平铰接 3-link 水平铰接
自由运动轴 3 4 5 5
工作
范围
Arm 伸缩范围 R axis (standard arm) -212 ~ +321 mm
Short arm (option)
-265 ~ +245 mm
Long arm (option)
-319 ~ +447 mm
R axis (standard arm) -212 ~ +321 mm
Short arm (option)
-265 ~ +245 mm
Long arm (option)
-319 ~ +447 mm
X axis -432 ~ +432 mm X axis -650 ~ +650 mm
- R axis (standard arm) -212 ~ +321 mm
Short arm (option)
-265 ~ +245 mm
Long arm (option)
-319 ~ +447 mm
- -
Arm 转动范围 TH axis 340deg TH axis 340deg TH axis ±180deg TH axis ±170deg
垂直工作范围 Z axis (standard) 300 mm
(option) 400/450/500mm
Z axis (standard) 300 mm
(option) 400/450/500mm
Z axis 300 mm Z axis 300 mm
Arm 回转 - - Roll axis ±240 deg Roll axis ±275 deg
- - Roll axis ±240 deg Roll axis ±275 deg
最大运动
速度
Arm 伸缩范围 R axis 5.76 rad / sec R1 axis 5.76 rad / sec X axis 1680mm / sec X axis 1709mm / sec
- R2 axis 5.76 rad / sec - -
Arm 转动范围 TH axis 6.98 rad / sec TH axis 6.98 rad / sec TH axis 8.72 rad / sec TH axis 6.54 rad / sec
垂直工作范围 Z axis 450 mm / sec Z axis 450 mm / sec Z axis 450 mm / sec Z axis 700 mm / sec
Arm 回转 - - Roll first axis 9.42 rad / sec Roll first axis 9.42 rad / sec
- - Roll second axis 9.42 rad / sec Roll second axis 9.42 rad / sec
重复定位精度 ±0.1 mm ±0.1 mm ±0.1 mm ±0.1 mm
清洁度 ISO Class 1 ISO Class 1 ISO Class 1 ISO Class 1
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