真空晶圆搬运/传送机器人
产品名称:
真空晶圆搬运/传送机器人型号:
VWST1S039-010价格:
1最小起订量:
1
产品摘要:
双层望远方式的Body / 高信任度，生产性，精密度 可进行CC-LINK, RS-232通信 / 能够对应8’’~18’’级的多种大小
- 产品描述
主要特征
■ Application for Cluster Tool
- Applicable to Process (CVD, ALD, Etcher, PE-CVD, ETC)
■ Model : VWST1S039-010
▶ Spec.
- Vacuum Level : 1.0 X 10 e-8 Torr
- Arm Stroke : ±390mm
- Th Axis Stroke : 360°
- Z Axis Stroke : Customer spec.
■ Model : VWDT1F065-010
▶ Spec.
- Vacuum Level : 1.0 X 10 e-8 Torr
- Arm Stroke : ±650mm
- Th Axis Stroke : 360°
- Z Axis Stroke : Customer spec.
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