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晶圆FOUP载入口

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  • 晶圆FOUP载入口
  • 产品名称:

    晶圆FOUP载入口
  • 型号:

    RLS-3102
  • 品牌:

    ROBOSTAR
  • 价格:

    1
  • 最小起订量:

    1

产品摘要:

12" LPM 半导体工程内300mm FOUP的 Load / Unload , UP / Down Mapping 功能 适用N2 Purge 功能 / 适用RFID 进行Wafer ID Reading / 对应SEMI S2 & CE


产品描述

主要特征

 

■ Model RLS-3102

■ Wafer   Plain 300mm  

■ Cassette  FOUP/FOSB  

■ Docking stroke  0 ~ 70mm 

■ Latch motion  90° ± 0.5° 

■ Operation Time With Mapping  <13 sec 

■ RFID RS 232C

■ Vacuum supply Ø4 one touch fitting 

■ Air supply Ø4 one touch fitting 

■ Interface  RS232C

■ MTBF ≥ 20,000 hour

■ MTTR ≤ 1 hour

■ Repeatability  ≤±0.1mm 

■ Operating Temperature  0℃~40℃ 

■ Operating  Humidity  30% ~ 80%

■ Stable Temperature  -10℃~70℃ 

■ Stable  Humidity  0% ~ 93%

 

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