真空传输模块VTM（Vacuum Transfer Module）
产品名称:
真空传输模块VTM（Vacuum Transfer Module）型号:
真空传送设备VTM品牌:
Nidec-Sankyo
产品摘要:
在半导体制造中，VTM（Vacuum Transfer Module，真空传输模块） 是一个至关重要的设备子系统。你可以把它理解为一个在高真空环境下，负责晶圆高效、精准“交通”的中央枢纽。 它的核心任务是在一个密封的真空腔室里，通过高精度的机械臂，将晶圆在不同的工艺腔室（如刻蚀、沉积设备）之间来回传送
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