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晶圆切割机

  • 进口EFEM
  • EFEM:Side Storage
  • 真空传输模块VTM(Vacuum Transfer Module)
  • 晶圆切割机
  • 产品名称:

    晶圆切割机
  • 型号:

    4/6/8/12英寸
  • 品牌:

    Nidec-Sankyo

产品摘要:

产品优势 切割精度高(0.003mm以内/310mm)、稳定性强、CCD自动定位、自动校正,切割+清洗同步,软硬件自主开发,人机交互简单;


产品描述

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